产品概述

光刻腔氧分析仪Gasboard-3052基于极限电流型氧化锆传感器技术，实现工业过程中ppm级别氧浓度的测量，具有测量精度高、响应速度快、稳定性好等特点，可应用于半导体制造、空气分离、惰性气体焊接等领域，为关键的过程控制应用程序提供可靠的性能。产品采用紧凑型模块化设计，体积小巧，便于在复杂工况下安装，同时配备直观丰富的用户界面，提供卓 越的人机交互体验。

产品特性

• 测量精度高，ppm级别测量

• 响应速度快，秒级出数

• 产品稳定性好，无需定期校准

• 紧凑型模块化设计，体积小，安装方便

• 人机交互强，显示内容丰富、直观，操作方便

• 抗干扰能力强，对其他气体的交叉敏感性低

• 报警功能：当氧气浓度偏离报警值时将发出报警，报警值可调

技术参数

应用领域

①半导体、LED等生产过程中氧浓度控制。

②惰性保护气体生产及焊接工艺中氧浓度监测。

③空气分离加工工艺中氧浓度测定。

④真空手套箱系统中氧含量的监控。